يشير نمو الرقاقة الفوقية إلى عملية ترسيب غشاء بلوري على ركيزة بلورية، بحيث يرث الغشاء المترسب (الطبقة الفوقية) بنية الشبكة واتجاه الركيزة الأساسية. والنتيجة هي رقاقة نمت فيها طبقة أشباه الموصلات النشطة بجودة بلورية عالية جدًا.
-
2025-12-08