في صناعة أشباه الموصلات، يُعدّ تسطيح ركيزة الرقاقة معيارًا بالغ الأهمية. فبدون تسطيح ممتاز، قد تتأثر العمليات اللاحقة، مثل الطباعة الحجرية، وترسيب الأغشية الرقيقة، والتلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP)، والترابط، من حيث الإنتاجية والتجانس والموثوقية.
-
2025-12-08