رقاقة السيليكون ذات الأكسيد الحراري هي نوع من رقائق السيليكون، حيث تُنمى طبقة من ثاني أكسيد السيليكون (sio₂) على سطحها من خلال عملية أكسدة عالية الحرارة. يتشكل هذا النوع من طبقات الأكسيد على السطح المكشوف لرقائق السيليكون تحت ظروف درجات حرارة عالية باستخدام المؤكسدات. تُنمى طبقة الأكسدة الحرارية عادةً في فرن أنبوبي أفقي، مع نطاق درجة حرارة نمو يتراوح بين 900 و1200 درجة مئوية، وهناك طريقتان للنمو: الأكسدة الرطبة والأكسدة الجافة. تتميز طبقة الأكسيد الحرارية بتجانس وقوة عزل أعلى مقارنةً بطبقة الأكسيد المترسبة بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار.

1. أداء كهربائي ممتاز

تتميز رقاقة السيليكون ذات الأكسيد الحراري، باعتبارها عازلًا أو مادة شبه موصلة غير متبلورة، بأداء عزل ممتاز واستقرار حراري. سعتها النوعية في درجة حرارة الغرفة منخفضة نسبيًا، حوالي 3.9، وتنخفض مع زيادة درجة الحرارة. يعني أداء العزل العالي أنه حتى في بيئات الدوائر المعقدة، يمكنها منع تداخل الإشارة وتسرب التيار بشكل فعال، وبالتالي ضمان الأداء العام للجهاز.

2. القدرة على التحكم الجيد

يمكن التحكم بدقة في المعلمات الرئيسية لعملية الأكسدة الحرارية للسيليكون، بما في ذلك درجة الحرارة والغلاف الجوي والوقت. درجة الحرارة، باعتبارها العامل الرئيسي الذي يؤثر على معدل الأكسدة وجودة طبقة الأكسيد، يمكن أن تعزز بشكل كبير تقدم تفاعل الأكسدة. من حيث الغلاف الجوي، يتم استخدام الأكسجين عادة كمؤكسد، ومن خلال ضبط معدل تدفق الأكسجين، يمكن التحكم بدقة في معدل الأكسدة. يحدد وقت التفاعل بشكل مباشر سمك طبقة الأكسيد. في الإنتاج الفعلي، من خلال التحكم الصارم في معلمات العملية هذه، يمكن تحقيق التحكم الدقيق في سمك وتوحيد وجودة طبقة الأكسيد، وبالتالي تلبية متطلبات التصميم لمختلف الأجهزة المعقدة.

3. فيلم أكسيد عالي الجودة

يتميز الفيلم الأكسيدي المتشكل عن طريق أكسدة الأكسجين الجاف ببنية كثيفة وتوحيد جيد وقابلية للتكرار. يقدم سطحه بنية سيلوكسان غير قطبية، والتي تلتصق جيدًا بالمقاوم الضوئي وليس من السهل أن تطفو. بسبب معدل الأكسدة البطيء نسبيًا، فإن أكسدة الأكسجين الجاف مناسبة عادةً لتشكيل طبقات أكسيد رقيقة عالية الجودة.

4. عملية أكسدة الأكسجين الرطبة الفعالة

تعمل عملية أكسدة الأكسجين الرطبة على تحسين معدل الأكسدة بشكل كبير عن طريق إدخال بخار الماء كمؤكسد. نظرًا لتحلل بخار الماء إلى أكسيد الهيدروجين عند درجات حرارة عالية، فإن معدل انتشاره في أكسيد السيليكون أسرع بكثير من معدل الأكسجين، وبالتالي فإن معدل أكسدة الأكسجين الرطب أعلى بحوالي مرتبة من معدل أكسدة الأكسجين الجاف. على الرغم من أنه قد يتم إدخال الشوائب أو العيوب أثناء عملية أكسدة الأكسجين الرطبة، فلا يزال من الممكن الحصول على طبقة أكسيد تلبي متطلبات أداء الجهاز من خلال التحكم الصارم في ظروف العملية.

5. توحيد وكثافة ممتازة

بالمقارنة مع الطرق الأخرى مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، فإن طبقة الأكسيد التي تشكلت بواسطة الأكسدة الحرارية لها اتساق وكثافة أفضل. تتميز طبقة الأكسيد التي تشكلت بواسطة الأكسدة الجافة بكثافة أعلى وبنية أكثر اتساقًا، مما يمكن أن يقلل بشكل فعال من حدوث العيوب والثقوب. يضمن هذا الاتساق والكثافة الممتازان اتساق أداء الجهاز، مما يحسن موثوقية المنتج واستقراره.

6. قوة عازلة عالية

يتميز أكسيد السيليكون الحراري بقوة عزل عالية ويمكنه تحمل قوى المجال الكهربائي الكبيرة دون انهيار. هذه الخاصية تجعل السيليكون المؤكسد حرارياً مادة مثالية لتصنيع الأجهزة ذات الجهد العالي. في ظل ظروف الجهد العالي، يمكن للسيليكون المؤكسد حرارياً الحفاظ على الأداء الكهربائي المستقر، مما يضمن التشغيل الآمن للجهاز. لا تعمل قوته العازلة العالية على تحسين مقاومة الجهد للجهاز فحسب، بل توفر أيضًا إمكانية الاكتناز والأداء العالي للجهاز.

7. استقرار جيد في درجات الحرارة العالية

يمكن لأكسيد السيليكون الحراري الحفاظ على خصائص فيزيائية وكيميائية مستقرة في بيئات ذات درجات حرارة عالية. يضمن استقرار درجة الحرارة العالية للسيليكون المؤكسد حرارياً أنه لن يتعرض لتدهور الأداء أو التغييرات الهيكلية أثناء خطوات العملية هذه، وبالتالي ضمان الجودة الشاملة وموثوقية الجهاز. يجعل هذا الاستقرار الممتاز في درجات الحرارة العالية أكسيد السيليكون الحراري يستخدم على نطاق واسع في سيناريوهات عملية درجات الحرارة العالية المختلفة، مما يوفر دعماً قوياً لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات.

تتضمن عملية إنتاج رقاقة السيليكون المؤكسد الحراري الخطوات الرئيسية التالية بشكل أساسي:

1. تنظيف رقاقة السيليكون: أولاً، يتم إجراء معالجة تنظيف صارمة على رقاقة السيليكون الأصلية لإزالة الشوائب والمواد الملوثة على السطح، مما يضمن جودة عملية الأكسدة.

2. تحضير فرن الأكسدة: ضع رقاقة السيليكون المنظفة في فرن أكسدة أنبوب الكوارتز. تتمتع أنابيب الكوارتز بنقاط انصهار عالية واستقرار كيميائي، ويمكنها تحمل بيئات الأكسدة ذات درجات الحرارة العالية.

3. التحكم في درجة الحرارة: يتم تحقيق التحكم الدقيق في درجة حرارة فرن الأكسدة من خلال مناطق تسخين متعددة، مما يؤدي إلى تثبيت درجة الحرارة داخل الفرن بين 1000 درجة مئوية و1200 درجة مئوية وتوفير طاقة كافية لتفاعل الأكسدة.

4. مقدمة لجو الأكسدة: وفقًا لمتطلبات العملية، يتم إدخال الأكسجين النقي أو جو الأكسدة المحتوي على بخار الماء إلى فرن الأكسدة. تستخدم أكسدة الأكسجين الجافة الأكسجين النقي كمؤكسد لتشكيل أغشية أكسيد عالية الجودة؛ تعمل أكسدة الأكسجين الرطبة على تعزيز معدل تفاعل الأكسدة من خلال بخار الماء.

5. مراقبة عملية الأكسدة: أثناء عملية الأكسدة، يتم مراقبة معدل النمو وتوحيد طبقة الأكسيد في الوقت الحقيقي، ويتم ضمان جودة طبقة الأكسيد عن طريق ضبط معلمات العملية.

6. التبريد والإخراج من الفرن: بعد اكتمال الأكسدة، قم بخفض درجة الحرارة داخل الفرن ببطء إلى درجة حرارة الغرفة لتجنب التشقق أو تشوه رقاقة السيليكون بسبب التغيرات السريعة في درجات الحرارة. أخيرًا، قم بإزالة رقاقة السيليكون المؤكسدة حرارياً للمعالجة والاختبار اللاحقين.

1. أكسيد بوابة موسفت

تلعب رقاقة السيليكون ذات الأكسيد الحراري دورًا حاسمًا كأكسيد البوابة في MOSFETs (ترانزستورات تأثير المجال شبه الموصلة لأكسيد المعدن). لديها عزل جيد وكثافة حالة سطح منخفضة، والتي يمكن أن تتحكم بشكل فعال في تأثير تعديل جهد البوابة على تيار القناة وتحقيق وظيفة التبديل للجهاز. عادة ما يتم تحضير طبقة أكسيد البوابة بطريقة الأكسدة الحرارية، مما يشكل طبقة أكسيد السيليكون ذات تيار تسرب منخفض للغاية وقوة مجال انهيار عالية، مما يضمن استقرار وموثوقية الجهاز.

2. طبقة عازلة لعملية الدائرة المتكاملة

في عملية الدائرة المتكاملة (IC)، يتم استخدام رقاقة السيليكون ذات الأكسيد الحراري على نطاق واسع كطبقة عازلة للعزل الكهربائي وحماية السطح والإخفاء. عزلها الكهربائي الممتاز واستقرارها الحراري واستقرارها الكيميائي يجعلها واحدة من أكثر مواد الطبقة العازلة استخدامًا في صناعة أشباه الموصلات.

3. مواد العزل والقناع

لا يُستخدم أكسيد السيليكون الحراري كطبقة عازلة في عمليات أشباه الموصلات فحسب، بل يُستخدم أيضًا كمواد قناع، ذات انتقائية عالية وخمول كيميائي. يمكنه منع تآكل الكواشف الكيميائية أو الغازات بشكل فعال، وتحديد حدود انتشار عناصر المنشطات بدقة، وضمان التحكم الدقيق في منطقة المنشطات. في الخطوات الرئيسية مثل النقش والانتشار وزرع الأيونات، تعمل رقاقة السيليكون بأكسيد حراري كطبقة قناع لحماية المناطق التي لا تتطلب معالجة، مما يحسن دقة وكفاءة العملية.

4. رقائق السيليكون الشمسية

في مجال الخلايا الشمسية، تلعب رقاقة السيليكون ذات الأكسيد الحراري دورًا مهمًا كطبقة تخميل سطحية. يمكنها أن تقلل بشكل فعال من معدل إعادة تركيب سطح رقائق السيليكون وتحسين كفاءة التحويل الضوئي للبطاريات. ستؤدي الشحنات الإيجابية الثابتة المتكونة أثناء عملية الأكسدة الحرارية إلى توليد تخميل التأثير الميداني، مما يقلل بشكل أكبر من كثافة حالات عيب السطح ويحسن أداء البطارية.

5. رقاقة السيليكون الفوقية

في عملية تحضير رقائق السيليكون الإبيتاكسي، يعمل السيليكون المؤكسد حرارياً كطبقة وسيطة، مما يوفر سطحًا مستويًا ونظيفًا للنمو الإبيتاكسي. يمكنه منع انتشار الشوائب بشكل فعال، وحماية الأجهزة النشطة والسيليكون من تأثير العمليات اللاحقة. تعد جودة طبقة السيليكون المؤكسدة حرارياً أمرًا بالغ الأهمية لجودة نمو الطبقة الإبيتاكسي وأداء الجهاز.

التعبئة والتغليف يجب أن تكون قادرة على تحمل الصدمات والاهتزازات ، التراص ، البثق التي قد تصادف أثناء النقل ، ويجب أن تكون سهلة المنال والمناولة .

نحن نستخدم المهنية رقاقة مربع التعبئة والتغليف . رقاقة مربع محمي من قبل طبقة مزدوجة كيس ، كيس البولي ايثيلين الغبار داخل وخارج كيس رقائق الألومنيوم التي يمكن فصلها عن الهواء . طبقة مزدوجة حقيبة فراغ معبأة .

نحن سنختار [ كرتون مودل ] يوافق إلى حجم مختلفة منتوجات . و بين المنتج و كارتون مليئة رغوة EPE للصدمات ، ولعب دور الحماية الشاملة .

وأخيرا ، حدد الشحن الجوي إلى العميل . وهذا يسمح للعملاء من أي بلد ومنطقة لتلقي المنتجات في أسرع وقت ممكن .

ونحن ملتزمون بقواعد ورقة بيانات سلامة المواد ( MSDS ) لضمان أن المنتجات التي يتم شحنها لا تحتوي على مواد ضارة و لا تسبب التلوث البيئي والانفجارات وغيرها من المخاطر المحتملة .

مساحة المصنع : 3000 متر مربع

تدفق

1 - تشكيل → 2 - حافة → 3 - طحن → 4 - تلميع → 5 - تنظيف → 6 - التعبئة والتغليف والنقل 7 .

قدرة

رقاقة الزجاج -- 30K

رقاقة السيليكون -- 20K

( 6 بوصات )

طريقة اختبار الجودة : إجراء اختبار المنتج وفقا لمعيار سيمي أو متطلبات العملاء ، إرفاق المنتج شهادة توثيق البرامج .

الضمان : وفقا لمتطلبات العقد .

إدارة نظام الجودة :

● تنظيم الإنتاج وفقا ISO9001 وغيرها من معايير نظام الجودة .

نظام إدارة الجودة والتدابير :

● إنشاء نظام ضمان الجودة الصارمة ، رؤساء الإدارات والمهندسين لضمان جودة نظام التشغيل المنسق .

● تعزيز نظام مراقبة الجودة ، وتعزيز عملية مراقبة الجودة

● رقابة صارمة على جودة المواد لضمان أن المواد المستوردة تلبية متطلبات التصميم والمواصفات الفنية .

● تنفيذ نظام الإيداع في الوقت المناسب لضمان أن جميع البيانات التقنية كاملة / دقيقة .

مراقبة الجودة في مرحلة الإنتاج :

● مرحلة إعداد الإنتاج : بجدية تنظيم الموظفين ذات الصلة لدراسة الرسومات المنتج والقواعد التقنية ، وتحسين المستوى الفني للموظفين .

● مراقبة الجودة في عملية الإنتاج : تنفيذ نظام صارم التسليم ، من الخطوة السابقة إلى الخطوة التالية في عملية التسليم ، ينبغي أن تكون مفصلة . في ال نفسه وقت , يقوّي نوعية تفتيش نظامة أن يضمن النوعية من كلّ خطوة من العملية .

● قبول الجودة : جميع العمليات يجب أن تكون نوعية قبل الدخول في العملية التالية .

خدمات ما قبل البيع

الدعم الفني والمهني فريق عمل يساعدك على تحديد مواصفات المنتج وفقا لاستخدام المنتج ، والإفراج عن المواصفات .

شراء الخدمات

إنتاج المنتجات وفقا للمواصفات المؤكدة وعملية لدينا .

خدمة ما بعد البيع

سوف نقوم بالرد على العملاء في غضون 24 ساعة من أي مشاكل المنتج أو العملاء واجهت مشاكل في العملية . يمكننا اختيار أنواع مختلفة من الخدمات ، مثل البريد الإلكتروني والفيديو كونفرنس وهلم جرا .